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Artigo Produção Nacional
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TRATAMENTO DE MATERIAIS METÁLICOS VIA IMPLANTAÇÃO IÔNICA POR IMERSÃO EM PLASMA DE NITROGÊNIO EM AMBIENTE COM BAIXA CONCENTRAÇÃO DE OXIGÊNIO

2010; Volume: 29; Linguagem: Português

10.17563/rbav.v29i1-2.844

ISSN

1983-4047

Autores

Ataíde Ribeiro da Silva, Mário Ueda, Graziela da Silva Savonov,

Tópico(s)

Analytical Chemistry and Sensors

Resumo

Neste trabalho foram investigados os efeitos dos elementos contaminantes presentes na câmara de vacuo do sistema 3IP, em particular do oxigenio residual que forma compostos oxidos na superficie, e, portanto responsavel pela necessidade de alta energia de implantacao dos ions para se obter camadas tratadas de espessuras razoaveis. Foi utilizado um espectrometro de massa (RGA) de filtro quadrupolar para se verificar a composicao residual do vacuo e pressoes relativas dos elementos presentes na câmara. Uma grande proporcao de oxigenio residual foi detectada para um vacuo com uma pressao de 1x10 3 Pa. Minimizando a presenca de oxigenio residual em cerca de 80%, atraves de limpezas eficazes das paredes da câmara e alimentacao de gas mais apurada, atenuou-se a formacao de oxidos durante o tratamento 3IP. Com isso foi possivel realizar um processamento 3IP extremamente eficiente, atingindo camadas implantadas de aproximadamente 50 nm, mesmo em casos como em ligas de aluminio, que normalmente apresentam dificuldades para implantacao de nitrogenio em baixas energias. O tratamento 3IP de nitrogenio foi operado com pulsos de apenas 3 kV e 15x10 -6 s de duracao, numa frequencia de 1 kHz e uma pressao de operacao de 1 Pa.

Referência(s)