Portal de Periódicos da CAPES

Artigo Produção Nacional

BIBTEX RIS

PRODUÇÃO DE FILMES DE ZnTe POR SUBLIMAÇÃO EM ESPAÇO REDUZIDO

2010; Volume: 28; Linguagem: Português

10.17563/rbav.v28i3-4.618

1983-4047

Alexandre Ramos Gonçalves, Irani Guedes Mattoso, L. R. Cruz, C. L. Ferreira,

Chalcogenide Semiconductor Thin Films

Filmes finos de ZnTe tem sido usado em celulas fotovoltai-cas de CdS/CdTe como camada intermediaria entre a ca-mada absorvedora de CdTe e o metal usado como contato de fundo, minimizando o efeito retificador presente nesta regiao do dispositivo. Esta camada tem sido depositada por diversas tecnicas, tais como, sublimacao em espaco reduzido (CSS), pulverizacao catodica, deposicao eletroquimica, entre outras. Neste trabalho filmes finos de ZnTe foram depositados por sublimacao em espaco reduzido (CSS), onde o diferencial do mesmo foi a colocacao das fontes de aquecimento, tanto do material fonte como dos substratos dentro do sistema de vacuo. Foram realizadas deposicoes de ZnTe com a distância fonte-substrato de 2,7 mm e pressao do sistema de 1 Torr de argonio. As temperaturas da fonte e do substrato foram variadas na faixa de 580 a 700°C e 380 a 500°C, respectivamente. Com o sistema de aquecimento localizado dentro da câmara de deposicao foi possivel obter taxas de aquecimento e diferencas de temperatura entre a fonte e o substrato maiores do que as obtidas com sistema de aquecimento localizado fora da câmara de deposicao, significando processos de deposicoes mais rapidas e com menor gasto de energia.