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Capítulo de livro Revisado por pares
BIBTEX RIS

Application of Electron Beam Technology to Large Scale Integrated Circuits

1980; Elsevier BV; Linguagem: Inglês

10.1016/b978-0-444-85351-6.50010-8

ISSN

0167-790X

Autores

Edward V. Weber,

Tópico(s)

Semiconductor Quantum Structures and Devices

Referência(s)