Capítulo de livro
Deposition, Milling, and Etching with a Focused Helium Ion Beam
2011; De Gruyter Open; Linguagem: Inglês
10.1007/978-3-7091-0424-8_11
ISSN2299-680X
AutoresPaul F. A. Alkemade, Emile van Veldhoven,
Tópico(s)Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis
Referência(s)