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Micromachining using focused ion beams

1994; Wiley; Volume: 146; Issue: 1 Linguagem: Inglês

10.1002/pssa.2211460143

1521-396X

Wolfgang Driesel,

Advanced Surface Polishing Techniques

Focused ion beam (FIB) systems prove to be useful precision micromachining tools for a wide variety of applications. This micromachining technique includes scanning ion microscopy (SIM), micromachining by physical sputtering, and the ion-beam induced surface chemistry for etching and deposition. This technique is applied to image and modify IC's, to micromechanical applications, to modify the tip shape of tungsten emitters, and to prepare cross sections of selected regions for inspection in a transmission electron microscope (TEM). Ionen-Mikrostrahlanlagen erweisen sich bei zahlreichen Anwendungen für die Feinbearbeitung in Mikrobereichen als sehr geeignet. Die Ionenmikrostrahl-Technik nutzt die Möglichkeiten zur Ab-bildung der Probenoberfläche nach dem Rasterverfahren, zur Bearbeitung durch physikalisches Sputtern und zur Auslösung chemischer Vorgänge an der Probenoberfläche bei Ionenbeschuß, um Material gezielt abzutragen oder anzulagern. Dieses Verfahren wurde zur Abbildung und Veränderung von IC's, zur Präparation von Strukturen für mikromechanische Anwendungen. zur Modifizierung der Form von Wolfram-Emitterspitzen und zur Herstellung von TEM-Querschnitts-Zielpräparaten eingesetzt.