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Artigo Revisado por pares
BIBTEX RIS

Fabrication of silicon oxycarbide-based microcomponents via photolithographic and soft lithography approaches

2011; Elsevier BV; Volume: 169; Issue: 1 Linguagem: Inglês

10.1016/j.sna.2011.04.041

ISSN

1873-3069

Autores

Sandra Martínez-Crespiera, Emanuel Ionescu, Malte Schlosser, Klaus Flittner, Giampaolo Mistura, Ralf Riedel, Helmut F. Schlaak,

Tópico(s)

Advancements in Photolithography Techniques

Referência(s)
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