Mechanical properties of hydrogen-free a-C:Si films
2003; Elsevier BV; Volume: 13; Issue: 4-8 Linguagem: Inglês
10.1016/j.diamond.2003.10.040
ISSN1879-0062
AutoresV. Kulikovsky, V. Vorlı́ček, P. Boháč, A. V. Kurdyumov, L. Jastrabı́k,
Tópico(s)Semiconductor materials and devices
Referência(s)