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Artigo Revisado por pares
BIBTEX RIS

Layout of a nuclear microprobe beamline using a liquid metal ion source

1997; Elsevier BV; Volume: 130; Issue: 1-4 Linguagem: Inglês

10.1016/s0168-583x(97)00267-x

ISSN

1872-9584

Autores

J. Adamczewski, D Löffelmacher, Jan Meijer, A. Stephan, H.H. Bukow, C. Rolfs,

Tópico(s)

Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis

Referência(s)