Structural and mechanical properties of a-C:H thin films grown by RF-PECVD
2004; Elsevier BV; Volume: 13; Issue: 9 Linguagem: Inglês
10.1016/j.diamond.2004.01.017
ISSN1879-0062
AutoresE. Tomasella, L. Thomas, Marc Dubois, C. Meunier,
Tópico(s)High-pressure geophysics and materials
Referência(s)