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Untersuchung der struktur auf quarzglas aufgedampfter nickelfilme mit hilfe der röntgenbeugung

1968; Elsevier BV; Volume: 2; Issue: 5-6 Linguagem: Alemão

10.1016/0040-6090(68)90053-9

1879-2731

G. Wedler, P. Wißmann,

Electron and X-Ray Spectroscopy Techniques

Zusammenfassung In einer Hochvakuumkammer werden Nickelfilme bei 0 °C auf Quarzglas aufgedampft und bei verschiedenen Temperaturen untersucht. Die Beugungsreflexe werden bezuglich der Intensitat, der Linienbreite und der Winkellage des Reflexmaximums ausgewertet. Es ergibt sich, daβ die frisch aufgedampften, nicht getemperten Filme nur einen geringen Ordnungsgrad aufweisen. Mit zunehmender Temperungstemperatur wachsen die Kristallite dann, bis ihre Dicke etwa der mittleren Filmdicke entspricht. Dabei zeigt sich eine bevorzugte Orientierung der Kristallite mit den {111}-Ebenen parallel zur Filmebene. Auf Grund der unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Quarzglas und Nickel bilden sich bei den getemperten Filmen Spannungen aus, die zu einer Verringerung der gemessenen Gitterkonstanten fuhren. Eine quantitative Berechnung dieser Gitterkontraktion zeigt eine gute Ubereinstimmung mit den gemessenen Daten. Voraussetzung dafur ist jedoch ein gutes Haften des Films auf der Unterlage.