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An improved Gruzin method for determining impurity diffusion coefficients

1970; Wiley; Volume: 1; Issue: 1 Linguagem: Inglês

10.1002/pssa.19700010110

1521-396X

Kirn Cramer, W.B. CROW,

Semiconductor materials and interfaces

A more accurate evaluation of the integral used in Gruzin's method, for determining impurity diffusion coefficients for radio active tracers in solid specimens, is used to construct master graphs for the reduction of experimental data. A numerical method utilizing the analytical results is also presented. Both methods were successfully applied in experiments and representative data are presented. Eine genauere Berechnung der in der Methode von Gruzin benutzten Integrale zur Bestimmung des Verunreinigungs-Diffusionskoeffizienten von Radiotracern in Festkörperproben wird zur Konstruktion von Normaldarstellungen zur Reduktion der experimentellen Werte durchgeführt. Eine numerische Methode, die die analytischen Ergebnisse auswertet, wird ebenfalls angegeben. Beide Methoden wurden erfolgreich in Experimenten angewendet und repräsentative Werte werden angegeben.