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Untersuchung von Sonderfällen der Spannungskorrosion bei homogenen, nicht übersättigten Mischkristallen und der hierbei auftretenden elektrochemischen Prozesse

1966; Wiley; Volume: 17; Issue: 5 Linguagem: Alemão

10.1002/maco.19660170505

1521-4176

L. Graf, W. Wittich,

Copper Interconnects and Reliability

Abstract Es wurde die Spannungskorrosionsempfindlichkeit von nickelreichen Nickel‐Kupferlegierungen untersucht und festgestellt, daß sie nur in Cu 2 ‐haltiger, nicht aber in reiner Flußsäure spannungskorrosionsempfindlich sind. Als Ursache wurde die Bildung von kathodischen Bereichen aus cu 2 O bzw. Cu, je nach Acidität des Agens, festgestellt. Diese sind für das Auftreten eines ausgeprägten elektrochemischen Prozesses innerhalb der Spalten und Risse notwendig, wodurch im Zusammenwirken mit den beiden Mischkristalleffekten Spannungskorrosion verursacht wird. Für die empfindlichste Legierung mit rd. 70 Gew.‐% Nickel, Rest Kupfer, entsprechend etwa der Legierung „Monel”︁, wurde die Abhängigkeit der Lebensdauer von der cuF 2 ‐ und HF‐Konzentration bestimmt und in einem räumlichen Diagramm dargestellt. Diese Legierung weist in verdünnten, CuF 2 ‐haltigen HF‐Lösungen auch beträchtliche interkristalline Korrosion auf, während in höhen konzentrierten Lösungen unter Zugspannung nur transkristalline Risse auftreten. Ferner wurde der zeitliche Verlauf, die Spannungs‐ und die Temperaturabhängigkeit des Spannungskorrosionsprozesses untersucht und die Aktivierungsenergie bestimmt.