Portal de Periódicos da CAPES

Kathodenzerstäubung bei Beschuß verschiedener Metalle mit Argon‐Ionen im mittleren Energiebereich

1962; Wiley; Volume: 2; Issue: 3 Linguagem: Alemão

10.1002/ctpp.19620020305

0005-8025

Helmut Schirrwitz,

Ion-surface interactions and analysis

Abstract Es wird eine Versuchsanordnung beschrieben, mit deren Hilfe der Kathodenzerstäubungskoeffizient ϑ und der Sekundärelektronenemissionskoeffizient von Metallen gleichzeitig bestimmt werden kann. Das Verfahren gestattet auch die Bestimmung des ϑ‐Wertes von Metallen mit schwer zerstäubbarer Oxydschicht. Für die Gas‐Metall‐Kombinationen Ar‐Cu und Ar‐Ag werden Messungen der Energieabhängigkeit des ϑ‐Wertes mitgeteilt und mit Werten anderer Autoren verglichen. Messungen des ϑ‐Wertes von 17 verschiedenen Metallen bei 5‐keV‐Ionen‐energie zeigen eine Abhängigkeit von der Stellung der Elemente innerhalb einer Periode des Periodischen Systems.