Morphology of electromigration-induced damage and failure in Al alloy thin film conductors
1990; Springer Science+Business Media; Volume: 19; Issue: 11 Linguagem: Inglês
10.1007/bf02673335
ISSN1543-186X
AutoresJohn E. Sanchez, L. T. McKnelly, J. W. Morris,
Tópico(s)Semiconductor materials and devices
Referência(s)