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AVALIAÇÃO DO MODELO ARX E DO ESTIMADOR LS DE ELASTOMASSAS MEMS ATRAVÉS DOS CRITÉRIOS MSE, AIC E BIC

2011; Linguagem: Português

10.5540/dincon.2011.001.1.0092

2178-3667

Manuel M. P. Reimbold, Airam Teresa Zago Romcy Sausen, Andre L. Bedendo, Romulo A. T. Koelher,

Mineral Processing and Grinding

Os sistemas microeletromecânicos MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) sao microtransdutores que desempenham funcoes de sensoriamento e atuacao. Entre eles cabe destacar o transdutor de deformacao elastica (elastomassas) e atuacao eletrostatica (comb-drive), pois apresenta resposta rapida, baixa potencia de consumo, e facilidade de integracao com circuitos eletronicos. Na industria, quando estes sao convenientemente dispostos podem-se configurar: reles, pincas, osciladores, filtros, transformadores, mixers, giroscopios, acelerometros, entre outros, conforme apresentado na Figura 1 [1-2].