New DLC coating method using magnetron plasma in an unbalanced magnetic field
2000; Elsevier BV; Volume: 59; Issue: 2-3 Linguagem: Inglês
10.1016/s0042-207x(00)00330-4
ISSN1879-2715
AutoresShigehiko Fujimaki, H. Kashiwase, Y. Kokaku,
Tópico(s)Metal and Thin Film Mechanics
Referência(s)