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Infrared Studies of Reactively Sputtered SiO x Films in the Composition Range 0.2 ≦ x ≦ 1.9

1982; Wiley; Volume: 110; Issue: 1 Linguagem: Inglês

10.1002/pssb.2221100157

1521-3951

L Schumann, A. Lehmann, H. Sobotta, V. Riede, U. Teschner, K. Hübner,

Silicon Nanostructures and Photoluminescence

physica status solidi (b)Volume 110, Issue 1 p. K69-K73 Short Note Infrared Studies of Reactively Sputtered SiOx Films in the Composition Range 0.2 ≦ x ≦ 1.9 L. Schumann, L. Schumann Sektion Physik der Wilhelm - Pieck-Universität Rostock, Wissenschaftsbereich Isolatorphysik Search for more papers by this authorA. Lehmann, A. Lehmann Sektion Physik der Wilhelm - Pieck-Universität Rostock, Wissenschaftsbereich Isolatorphysik Search for more papers by this authorH. Sobotta, H. Sobotta Sektion Physik der Karl-Marx-Universität Leipzig, Arbeitsgemeinschaft AIIIBV -Halbleiter Search for more papers by this authorV. Riede, V. Riede Sektion Physik der Karl-Marx-Universität Leipzig, Arbeitsgemeinschaft AIIIBV -Halbleiter Search for more papers by this authorU. Teschner, U. Teschner Sektion Physik der Wilhelm - Pieck-Universität Rostock, Wissenschaftsbereich Isolatorphysik Search for more papers by this authorK. Hübner, K. Hübner Sektion Physik der Wilhelm - Pieck-Universität Rostock, Wissenschaftsbereich Isolatorphysik Search for more papers by this author L. Schumann, L. Schumann Sektion Physik der Wilhelm - Pieck-Universität Rostock, Wissenschaftsbereich Isolatorphysik Search for more papers by this authorA. Lehmann, A. Lehmann Sektion Physik der Wilhelm - Pieck-Universität Rostock, Wissenschaftsbereich Isolatorphysik Search for more papers by this authorH. Sobotta, H. Sobotta Sektion Physik der Karl-Marx-Universität Leipzig, Arbeitsgemeinschaft AIIIBV -Halbleiter Search for more papers by this authorV. Riede, V. Riede Sektion Physik der Karl-Marx-Universität Leipzig, Arbeitsgemeinschaft AIIIBV -Halbleiter Search for more papers by this authorU. Teschner, U. Teschner Sektion Physik der Wilhelm - Pieck-Universität Rostock, Wissenschaftsbereich Isolatorphysik Search for more papers by this authorK. Hübner, K. Hübner Sektion Physik der Wilhelm - Pieck-Universität Rostock, Wissenschaftsbereich Isolatorphysik Search for more papers by this author First published: 1 March 1982 https://doi.org/10.1002/pssb.2221100157Citations: 63 Universitätsplatz 3, DDR-25 Rostock, GDR. Linnéstr. 5, DDR-7010 Leipzig, GDR. AboutPDF ToolsRequest permissionExport citationAdd to favoritesTrack citation ShareShare Give accessShare full text accessShare full-text accessPlease review our Terms and Conditions of Use and check box below to share full-text version of article.I have read and accept the Wiley Online Library Terms and Conditions of UseShareable LinkUse the link below to share a full-text version of this article with your friends and colleagues. Learn more.Copy URL Share a linkShare onEmailFacebookTwitterLinkedInRedditWechat References 1 K. Hubner, phys. stat. sol. (a), 61, 665 (1980) 2 R. Engelke, Th. Roy, H.-G. Neuma, and K. Hubner, phys. stat. sol. (a) 7 65 271 (1981) 3 E. Ritter, Optica Acta 9, 197 (1962); Vakuumtechnik Optica Acta 21 42 (1971). 4 A. Cachard, J. A. Roger, J. Pivot and C. H. S. Dupw, phys. stat. sol. (a) 5, 637 (197l) 5 D. Pivot Morelli, I. Tardy, L. A. Roger and C. H. S. Dupw, Thin Solid Films, 21 357 (1975) 6 E. B. Priestley and P. J. Call, Thin Solid Films 69, 39 (1980) 7 K. Hubner, E. Rogma, and G. Zuther, in: Insulating Films on Semiconductors, Ed. M. Schulz and G. Pensel, Springer Series in Electrophysics, Vol. 7, Springer, 1981 (p. 30) 8 R. B. Laughlin and J. D. Joannopoulos, Phys. Rev. B 16, 2942 (1977) 9 K. Hubner, A. Lehmann and L. Schumann, in: The Physics of MOS Insulators, Ed. G. Lucovsky, S. T. Pantelides and F. L. Galeener, Pergamon Press, 1980 (p. 82). 10 P. N. Sen and M. F. Thorpe, Phys. Rev. B 15, 4030 (1977). 11 A. Lehmann, L. Schumann, and K. Hübner, to be published. 12 K. Hübner, J. non-crystall. Solids 35 & 36, 1011 (1980). 13 K. Hübner, L. Schumann, A. Lehmann, H. H. Vajen, and G. Zuther, Phys. stat. sol. (b) 104 K1 (1981). Citing Literature Volume110, Issue11 March 1982Pages K69-K73 ReferencesRelatedInformation