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Mikrostrukturierung mit ultrakurzen Laserpulsen

1999; Wiley; Volume: 55; Issue: 6 Linguagem: Alemão

10.1002/phbl.19990550611

1521-3722

Stefan Nolte, C. Momma, Boris N. Chichkov, Herbert Welling,

Diamond and Carbon-based Materials Research

Abstract Ultrakurze Laserpulse ermöglichen für nahezu alle Materialien eine extrem feine Mikrostrukturierung, gekennzeichnet durch sehr hohe Reproduzierbarkeit sowie minimale thermische und mechanische Schädigung. Während die Genauigkeit der mit dieser Technik im Fernfeld erzielbaren Strukturen nur durch das Beugungslimit begrenzt ist, erlaubt die Bearbeitung im Nahfeld, sogar noch kleinere Strukturen zu erzeugen.