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Artigo Revisado por pares
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R.f. plasma-assisted chemical vapour deposition of diamond-like carbon: physical and mechanical properties

1992; Elsevier BV; Volume: 217; Issue: 1-2 Linguagem: Inglês

10.1016/0040-6090(92)90605-b

ISSN

1879-2731

Autores

E.H.A. Dekempeneer, R. N. Jacobs, J. Smeets, J. Meneve, L. Eersels, Bart Blanpain, J.R. Roos, D. J. Oostra,

Tópico(s)

Metal and Thin Film Mechanics

Referência(s)
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Thin Solid Films
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