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Artigo
BIBTEX RIS

Direct laser ablation of sub-100 nm line structures into polyimide

1992; Springer Nature; Volume: 54; Issue: 2 Linguagem: Inglês

10.1007/bf00323903

ISSN

0721-7250

Autores

H. M. Phillips, D. L. Callahan, R. Sauerbrey, G. Szabó, Z. Bor,

Tópico(s)

Surface Roughness and Optical Measurements

Referência(s)