Zur bestimmung der reduzierten dicke D/λ dünner Schichten mittels XPS
1978; Elsevier BV; Volume: 14; Issue: 4 Linguagem: Alemão
10.1016/0368-2048(78)80005-x
ISSN1873-2526
Autores Tópico(s)Nuclear Physics and Applications
ResumoEs wird zunächst die Theorie der Methode des variablen Beobachtungswinkels zur röntgenphotoelektronenspektrometrischen Untersuchung dünner Schich Das hier entwickelte Auswerteverfahren belegt ferner, dass bei Verwendung einer einzigen Methode — wie etwa der Substrat- oder der Quotientenmethode Based on a theoretical introduction to the method of variable take-off angle for the determination of D/λ by means of XPS an algorithm has be In addition there is now strong evidence that it is impossible to give reliable D/λ values from measurements performed on substrate or film or fr
Referência(s)