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Artigo Revisado por pares
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A three-axis autocollimator for detection of angular error motions of a precision stage

2011; Elsevier BV; Volume: 60; Issue: 1 Linguagem: Inglês

10.1016/j.cirp.2011.03.052

ISSN

1726-0604

Autores

Wei Gao, Yûsuke Saito, Hiroshi Muto, Yoshikazu Arai, Yuki Shimizu,

Tópico(s)

Surface Roughness and Optical Measurements

Referência(s)
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CIRP Annals
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