Voltar
Artigo Acesso aberto Produção Nacional
BIBTEX RIS

CARACTERIZAÇÃO E ANÁLISE DE UM FORNO PARA FABRICAÇÃO DE CÉLULAS SOLARES

2013; Brazilian Association of Metallurgy, Materials and Mining; Volume: 10; Issue: 2 Linguagem: Português

10.4322/tmm.2013.019

ISSN

2176-1523

Autores

Sérgio Boscato Garcia, Adriano Moehlecke, Izete Zanesco,

Tópico(s)

Photovoltaic Systems and Sustainability

Resumo

A indústria de células solares vem apresentando significativos índices de crescimento e envolve uma vasta gama de fornecedores de equipamentos específicos como os fornos de difusão, necessários para a formação da junção pn na fabricação dos dispositivos de silício.O objetivo deste trabalho é apresentar a análise térmica e a caracterização das difusões realizadas no primeiro forno de difusão desenvolvido e fabricado no Brasil.Os perfis de temperatura, longitudinal e radial ao tubo, foram medidos e analisados.Os resultados da caracterização definem uma zona de processamento de 200 mm com variação inferior a 6°C para temperaturas de até 965°C, sendo possível processar 40 lâminas de silício.Foram realizados processos de difusão em lâminas de silício monocristalino e obtiveram-se regiões n + , dopadas com fósforo, com resistência de folha com desvio padrão um pouco acima do obtido em fornos comerciais

Referência(s)