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Artigo Revisado por pares
BIBTEX RIS

Thin Film Microstructure Control Using Glancing Angle Deposition by Sputtering

1999; Springer Nature; Volume: 14; Issue: 4 Linguagem: Inglês

10.1557/jmr.1999.0162

ISSN

2044-5326

Autores

Jeremy C. Sit, D. Vick, Kevin Robbie, Michael J. Brett,

Tópico(s)

Metal and Thin Film Mechanics

Referência(s)