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Eigenschaften einiger störstellenkomplexe von gold in silizium

1983; Wiley; Volume: 75; Issue: 2 Linguagem: Inglês

10.1002/pssa.2210750217

1521-396X

Heinz U. Lemke,

Inorganic Chemistry and Materials

Mit den Methoden DLTS und TSCa werden die Eigenschaften einiger Ionenpaare zwischen den Donatoren und Doppeldonatoren der 3d-Gruppe und dem Akzeptor Gold untersucht. Das Paar (Fe+Au−) ist ein Akzeptor bei Ec − 0,34 eV mit rcn = 3 × 10−8 cm3 s−1 (T = 160 K) und das Paar (Cr+Au−) ein Donator bei Ev + 0,35 eV mit rcp = 1 × 10−8 cm3 s−1 (T = 170 K). Das Ionen-paar von Au mit dem Doppeldonator Mn hat zwei Niveaus: einen Akzeptor bei Ec − 0,24 eV mit rcn = 4 × 10−8 cm3 s−1 (T = 120 K) und einen Donator bei Ev + 0.57 eV mit rcp = 3 × 10−8 cm3s−1 (T = 250 K). Die Paarungsniveaus für V liegen bei Ec − 0,20 eV mit rcn = 6 × 10−9 cm3 s−1 (T = 115 K) und bei Ev + 0,42 eV mit rcp = 8 × 10−9 cm3 s−1 (T = 200 K). Durch Messungen der Massenwirkungskonstanten werden die Bindungsenergien von 0,9 (Fe); 0,9 (Mn); 1,1 (Cr) und 1,6 eV (V) bestimmt. The properties of some ion pairs between donors or double donors of the 3d-group and the acceptor gold are investigated by DLTS-and TSCa-techniques. The pair (Fe+Au−) is an acceptor at Ec − 0.34 eV with rcn = 3 × 10−8 cm3 s−1 (T = 160 K) and the pair (Cr+Au−) a donor at Ev + + 0.35 eV with rcp = 1 × 10−8 cm3 s−1 (T = 170 K). The ion pair of Au with the double donor Mn has two levels: an acceptor at Ec − 0.24 eV with rcn = 4 × 10−8 cm3 s−1 (T = 120 K) and a donor at Ev + 0.57 eV with rcp = 3 × 10−8 cm3 s−1 (T = 250 K). The pair levels for V lie at Ec − 0.20 eV with rcn = 6 × 10−9 cm3 s−1 (T = 115 K) and at Ev + 0.42 eV with rcp = 8 × 10−9 cm3 s−1 (T = 200 K). From the measurement of mass-action constants binding energies of 0.9 (Fe), 0.9 (Mn), 1.1 (Cr), and 1.6 eV (V) are determined.