LCVD of CN x Layers from NH 3 ,/CCI 4 . Mixture using CuBr Vapor Laser
1997; Cambridge University Press; Volume: 498; Linguagem: Inglês
10.1557/proc-498-271
ISSN1946-4274
AutoresB. Ivanov, Cyril Popov, Dimitar Dimitrov, Y Shanov, L. Zambov, M. Georgiev, G. Peev,
Tópico(s)Analytical Chemistry and Sensors
Referência(s)