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Diseño de una superficie cónica en silicio cristalino

2005; Mexican Society of Physics; Volume: 51; Issue: 006 Linguagem: Espanhol

2683-2224

Félix Gracia Témich, F. Renero Carrillo, O. Totolhua Paleta,

Archaeological and Geological Studies

Presentamos el diseno de fabricacion de una superficie conica con K =-6.5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base la tecnica de grabado anisotropico con KOH. La superficie conica es aproximada mediante ventanas esfericas. Comparaciones entre diametro y separacion de las ventanas esfericas, asi como los parametros que rigen la eleccion son discutidos.