Real-Time Optical Diagnostics For Measuring And Controlling Epitaxial Growth
1991; Cambridge University Press; Volume: 222; Linguagem: Inglês
10.1557/proc-222-63
ISSN1946-4274
AutoresD. E. Aspnes, R. Bhat, E. Colas, L. T. Florez, S. A. Gregory, J. P. Harbison, Itaru Kamiya, W. E. Quinn, S. A. Schwarz, Hitoshi Tanaka, M. Wassermeier,
Tópico(s)Ion-surface interactions and analysis
Referência(s)