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Contouring by modified dual-beam ESPI based on tilting illumination beams

1992; Elsevier BV; Volume: 90; Issue: 2 Linguagem: Inglês

10.18419/opus-4360

1618-1336

Xiang Peng, Hongyan Diao, Yunlu Zou, Hans J. Tiziani,

Surface Roughness and Optical Measurements

CoeItOllriag by modirttd daaal-be.m ESPI bueiI on tiltialil iII~ mialtiollll tams. A new contouring method by mcxlificd dual-beam electronic speckle pattern interferometry is pro­ posed. Instead of tilting test objoct as used in previous single: wavelength techniques by ESPI, we introduce a tilt 10 tbe illuminating beams in order to obtain the conlour fringe patterns. The most attractive feature of this tecbnique is the possibility of contouring a stationary object so that it would be a more promising method in practical engineering metrol· ogy. The thcoretKal and experimental results show good agm:meot. IOIIhlriDIil mil eiDcm JDOdifIzift1ea Zwdstrahl ESPI alit ce­ Dtigtem Bekclr:hhmgMtra.bL Eine neue Konturing-Methode mit cinem modifizierten elektronischcn Zwcistrahl-Speckle­ Interferometer wird vorgescblagen. Anstatt wit bei den iibli­ chen EinweUcnlangen-Tcchnikcn beim ESPI das Testob,i<.:kt zu vcrdrehcn, ncigco wir rut Ernugung von Konturstrclfen den Bdeucbtungsstrabl Ocr attraktivste Vorteil dieser Tech­ nik ist die Moglichkeit, eio stationircs Objekt zu konlurie­ reo. Damit wird diese Metbode in der praktiscben MeBtech· nik IiChr vielvcrsptcehend. Theorie und Experiment zcigen eiDe gute Obereinstimmung.