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Artigo Revisado por pares
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Modelling and fabrication of low operation temperature microcages with a polymer/metal/DLC trilayer structure

2006; Elsevier BV; Volume: 132; Issue: 1 Linguagem: Inglês

10.1016/j.sna.2006.03.004

ISSN

1873-3069

Autores

Jikui Luo, R. T. Huang, He Jia, Yongqing Fu, Andrew J. Flewitt, S.M. Spearing, N.A. Fleck, W. I. Milne,

Tópico(s)

Mechanical and Optical Resonators

Referência(s)
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Sensors and Actuators A Physical
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