TÉCNICA DE FOTOLITOGRAFIA COERENTE

1987; Volume: 6; Linguagem: Português

10.17563/rbav.v6i1-2.672

ISSN

1983-4047

Autores

A. W. Mól, Vı́tor Baranauskas,

Tópico(s)

Cultural Heritage Materials Analysis

Resumo

Procurou-se ao longo deste trabalho, desenvolver e caracterizar a Tecnica de Fotolitografia Coerente, baseada na aplicacao do laser de HeNe sobre placas fotograficas, explorando-se as caracteristicas da radiacao laser, tais como: monocromaticidade, brilho, coerencia e modo de oscilacao; de forma a induzir o efeito de absorcao a dois fotons nos cristais de Prata, determinando uma caracteristica de absorcao nao linear na emulsao fotografica. Para a compreensao deste mecanismo estabeleceu-se inicialmente a base da formacao da imagem latente a nivel das excitacoes elementares dos Cristais de Prata, desenvolvendo-se entao um modelo teorico que permitisse uma compreensao apropriada a nivel de uma descricao teorica do processo de sensibilizacao. Este modelo, embora preciso, apresentava-se pouco pratico, do desenvolvimento de um modelo fenomenologico, estabelecido a partir de uma sequencia de experimentos, obtendo-se por fim, uma expressao parametrica mais simples que descrevesse de forma adequada os resultados experimentais. Esta expressao foi empregada na analise de padroes litograficos micrometricos, apresentando um resultado bastante satisfatorio. Para a fotogravacao dos padroes micrometricos fez-se necessario o projeto e desenvolvimento do sistema litografico e consequentemente de toda uma instrumentacao especifica. Esta tecnica fotolitografica apresenta-se, portanto, como uma possibilidade alternativa interessante, quando comparada a outros processos, sendo que a confeccao de uma mascara em microeletronica empregando laser, conforme apresentamos aqui, mostra-se atraente em funcao do seu poder de resolucao, baixo custo e simplicidade Abstract

Referência(s)