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Artigo Revisado por pares
BIBTEX RIS

The effects of a spray slurry nozzle on copper CMP for reduction in slurry consumption

2015; Springer Science+Business Media; Volume: 29; Issue: 12 Linguagem: Inglês

10.1007/s12206-015-1101-2

ISSN

1976-3824

Autores

Dasol Lee, Hyunseop Lee, Haedo Jeong,

Tópico(s)

Diamond and Carbon-based Materials Research

Referência(s)