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CARACTERIZAÇÃO DE FILMES DE DIAMANTE DOPADOS COM BORO

2008; Volume: 13; Linguagem: Português

10.17563/rbav.v13i1-2.326

1983-4047

N. K. Franco, T. Doi, Alfredo C. Peterlevitz, Juan Carlos Alvarado Alcócer, D. Chang, V. Baranauskas, Carolina Ribeiro Rodrigues, V.J. Trava-Airoldi,

Catalysis and Hydrodesulfurization Studies

Filmes de diamante dopados tipo p foram crescidos pelo processo de deposicao quimica a partir da fase vapor assistida por filamento quente (DQFV-FQ), sobre substratos de Si , usando como dopante uma fonte solida de Nitreto de Boro. A dopagem foi realizada concomitantemente ao processo de crescimento. A estrutura cristalina e a morfologia da superficie dos filmes foram caracterizados por Espectroscopia Raman e Microscopia de Forca Atomica. A Espectroscopia de Tunelamento Eletronico mostrou a experiencia de uma banda proibida de energia no filme de cerca de 3,15 eV; e as medidas de resistencia eletrica do filme em funcao da temperatura, uma energia de ativacao estimada de 0,14 eV.