Artigo
The Effects of Substrate Conditions on the Microstructural Evolution of Thin Diamond-Like Films
1990; Cambridge University Press; Volume: 202; Linguagem: Inglês
10.1557/proc-202-247
ISSN1946-4274
AutoresJ. J. Cuomo, J. Bruley, J. P. Doyle, David L. Pappas, K. L. Saenger, J. C. Liu, Philip E. Batson,
Tópico(s)Ion-surface interactions and analysis
Referência(s)