Revisão Revisado por pares

Mechanical aspects of the chemical mechanical polishing process: A review

2016; Springer Science+Business Media; Volume: 17; Issue: 4 Linguagem: Inglês

10.1007/s12541-016-0066-0

ISSN

2234-7593

Autores

Hyunseop Lee, Dasol Lee, Haedo Jeong,

Tópico(s)

Advanced machining processes and optimization

Referência(s)