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Artigo Acesso aberto
BIBTEX RIS

Advanced joining techniques and their applications. Silicon wafer direct-bonding technique.

1990; Volume: 59; Issue: 2 Linguagem: Inglês

10.2207/qjjws1943.59.105

ISSN

1883-7204

Autores

Kazuyoshi Furukawa,

Tópico(s)

Advanced Surface Polishing Techniques

Referência(s)