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Artigo
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Effect of glycine on copper CMP

2016; Springer Science+Business Media; Volume: 3; Issue: 2 Linguagem: Inglês

10.1007/s40684-016-0019-1

ISSN

2198-0810

Autores

Soocheon Jang, Haedo Jeong, Minjong Yuh, In Ho Park, Jaehong Park,

Tópico(s)

Advanced Machining and Optimization Techniques

Referência(s)