Voltar
Artigo Revisado por pares
BIBTEX RIS

High resolution optical lithography or high throughput electron beam lithography: The technical struggle from the micro to the nano-fabrication evolution

2014; Elsevier BV; Volume: 133; Linguagem: Inglês

10.1016/j.mee.2014.11.015

ISSN

1873-5568

Autores

Shinji Okazaki,

Tópico(s)

VLSI and Analog Circuit Testing

Referência(s)
Ver no editor
Microelectronic Engineering
Altmetric
PlumX