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CONSTRUÇÃO DE UMA MICROBALANÇA DE QUARTZO ACOPLADA A UMA FONTE DE EVAPORAÇÃO PARA APLICAÇÕES EM ULTRAALTO VÁCUO (UHV)

1986; Volume: 5; Linguagem: Português

10.17563/rbav.v5i1-2.893

1983-4047

Carlos A. Achete, H. Niehus,

Advanced Fiber Optic Sensors

Construi-se uma microbalanca de quartzo para determinacao da espessura de camadas ultra finas, em conjunto com uma fonte de evaporacao. A construcao divide-se em duas partes, uma parte eletronica e uma mecânica fina. A parte eletronica consiste na construcao de um oscilador e de um circuito regulador de temperatura, para manter o crsital na sua temperatura de inversao. Todo o sistema foi montado num passador de corrente, compativelcom as condicoes de ultra alto vacuo. O medidor tem uma sensibilidade para medir espessuramenor que 0,1 monocamada.