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CONSTRUÇÃO DE UM SISTEMA PARA PREPARAÇÃO DE FILMES DE SEMICONDUTORES DO TIPO III-V

1991; Volume: 10; Issue: 1 Linguagem: Português

10.17563/rbav.v10i1.452

1983-4047

J. H. D. da Silva, Julia Cisneros, Maurício Pereira Cantão, E. C. Sittar,

Chalcogenide Semiconductor Thin Films

Neste trabalho apresentamos um sistema de evaporacao tipo flash construido no IFGW-UNICAMP para a preparacao de filmes amorfos e policristalinos de semicondutores do tipo III-V. O sistema e constituido por uma câmara de vacuo em cujo interior existe um alimentador capaz de fornecer um suprimento continuo de po de material semicondutor a um cadinho aquecido. Como exemplo de aplicacao apresentamos os resultados das caracterizacoes optica e eletrica de um conjunto de filmes de antimoneto de galio preparados com diferentes temperaturas de cadinho e substratos a 20°C. foram observadas variacoes fortes das propriedades opticas em funcao das condicoes de preparacao e a condutividade eletrica das amostras semicondutoras apresentou um aumento abrupto A temperatura de 518K o qual foi associado a cristalizacao.