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MORPHOLOGY EVALUATION OF SPUTTERED Au FILMS ONTO MICA BY ATOMIC FORCE MICROSCOPY

2008; Volume: 18; Issue: 1 Linguagem: Português

10.17563/rbav.v18i1.238

1983-4047

O. B. G. Assis, Shirleny Fontes Santos, Rubens Bernardes‐Filho, J. A. Rodrigues,

nanoparticles nucleation surface interactions

A microscopia de forca atomica (AFM) e empregada na caracterizacao da morfologia de filme de Au depositado por sputtering sobre mica clivada, em condicoes tipicas de preparacao de amostras para MEV. Os resultados tem como base de analise a variacao de rugosidade media quadratica (RMS) com respeito a superficie anterior a formacao do filme. Os resultados indicam uma deposicao com relativa homogeneidade e com formacao de nucleos nas dimensoes finais em torno de 40 nm de altura por 30 nm de diâmetro. O alimento de area provocada pelo deposito, quando medida por AFM, e encontrado como sendo em torno de 5,5 vezes.