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PULVERIZAÇÃO CATÓDICA: ASPECTOS DOPROJETO E DA CONSTRUÇÃO DE UM SISTEMA COM MÚLTIPLOSALVOS

1985; Volume: 4; Linguagem: Português

10.17563/rbav.v4i1-2.822

1983-4047

M. A. Silveira, A. P. Mammana, Carlos Ignácio Zamitti Mammana,

Academic Research in Diverse Fields

Neste trabalho descreve-se o projeto e a construcao do suporte giratorio dos substratos, de seu protetor (shutter), e do conjunto de refrigeracao dos porta-alvos do sistema de pulverizacao catodica com multiplos alvos que esta sendo desenvolvido no LED para uso na deposicao de filmes finos para circuitos integrados. E discutida a concepcao de projeto tendo em vista a utilizacao de materiais e componentes nacionais, apresentando-se o desenho completo do sistema, e detalhes sobre sua construcao.