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Elektronenstrahl‐Mikroanalytik elektrisch nichtleitender Proben leichter Elemente am Beispiel von Oxiden

1974; Wiley; Volume: 45; Issue: 5 Linguagem: Alemão

10.1002/srin.197404560

0003-8962

Werner Weisweiler,

Advanced Materials Characterization Techniques

Quantitative Elementaranalyse im Mikronbereich von elektrisch nichtleitenden Proben wie Oxide. Aufdampfen leitfähiger Filme aus Kupfer. Bestimmung der Schichtdicke. Messung der Intensitätsbeeinflussung der durch Elektronenbeschuß angeregten charakteristischen Röntgenstrahlung. Theoretische Nachrechnung. Effekt der zusätzlichen Absorption von Analysenstrahlung sowie Verminderung des effektiven Anregungsvolumens durch die Aufdampfschicht. Vorteil der gemeinsamen Bedampfung von Probe und Standard. Intensitätskorrektur bei Metallanalysen vernachlässigbar, bei der Vollanalyse auf Sauerstoff bis 15% Abweichung. Angabe einer einfachen Abschätzung für die Praxis.