Voltar
Artigo Acesso aberto Revisado por pares
BIBTEX RIS

Состав и свойства наноразмерных структур Si, созданных на поверхности CoSi-=SUB=-2-=/SUB=-/Si(111) бомбардировкой ионами Ar-=SUP=-+-=/SUP=-

2017; Ioffe Institute; Volume: 87; Issue: 5 Linguagem: Russo

10.21883/jtf.2017.05.44451.1979

ISSN

1726-748X

Autores

Ё.С. Эргашов,

Resumo

Состав и свойства наноразмерных структур Si, созданных на поверхности CoSi 2 /Si(111) бомбардировкой ионами Ar + © Ё.С.Эргашов Ташкентский государственный технический университет, 100095 Ташкент, Узбекистан

Referência(s)