Artigo
C16: Electronic device for electronically controled etching
2004; Elsevier BV; Volume: 37; Issue: 20 Linguagem: Inglês
10.1016/s1474-6670(17)30624-9
ISSN2589-3653
AutoresJaroslav Kadlec, Michal Skocdopole, Vladimı́r Kolařı́k,
Tópico(s)Sensor Technology and Measurement Systems
Referência(s)