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Artigo Acesso aberto Produção Nacional
BIBTEX RIS

Efeito da concentração de molibdênio na absorbância de compósitos cermet de mo-aln depositados por magnetron sputtering

2016; Volume: 4; Issue: 1 Linguagem: Português

10.59627/rbens.2013v4i1.92

ISSN

2526-2831

Autores

Thyago Santos Braga, M. Massi, Argemiro Soares da Silva Sobrinho, Fabiano Pinto Pereira, Eduardo Aragão, Choyu Otani,

Tópico(s)

Copper Interconnects and Reliability

Resumo

Nos últimos anos, os coletores concentradores parabólicos de energia solar (CCPES) vêm sendo comercializados e estudados em diversos países devido a sua eficiência e baixo impacto ambiental. A tecnologia envolvida para produção dos materiais utilizados para confecção destes dispositivos tem sido fator preponderante que dita o nível de rendimento e eficiência energética do sistema. Dentre estes materiais são encontrados os compósitos “cermet” produzidos por meio da técnica de deposição “magnetron spputering”. No presente trabalho, estuda-se a possibilidade de aumentar a absorbância óptica de filmes finos a base de compósitos Mo-AlN em função da variação da porcentagem de molibdênio adicionado na matriz cerâmica de AlN por processo de deposição assistido a plasma. Os filmes foram depositados sobre substratos de vidro e de silício monocristalino. O intervalo de tempo de deposição variou entre 60 e 180 min, enquanto a composição de gás (N 2 =6,0 sccm e Ar=4,0 sccm), distância alvo-substrato (7cm) e potência rf de descarga (200W,) foram padronizadas para todos os experimentos. Após a deposição, os filmes foram analisados por refletância (0,3 – 2,0 μm), perfilometria, DRX, MEV e EDS. Todos os filmes obtidos e analisados apresentaram estrutura amorfa com superfície pouco rugosa. Observou-se que o aumento da absorbância (300 – 2000nm) e diminuição da refletância estão relacionados ao aumento da presença de molibdênio no filme. A espessura dofilme não apresentou influência significativa no caminho óptico, mas os filmes obtidos para tempos de deposição superiores a 150 min apresentaram fenômeno de delaminação como resultado de tensão interna.

Referência(s)