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Artigo Revisado por pares
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Effect of mixing ratio of non-spherical particles in colloidal silica slurry on oxide CMP

2017; Springer Science+Business Media; Volume: 18; Issue: 10 Linguagem: Inglês

10.1007/s12541-017-0158-5

ISSN

2234-7593

Autores

Hojun Lee, Dasol Lee, Moonsung Kim, Haedo Jeong,

Tópico(s)

Tunneling and Rock Mechanics

Referência(s)