フォトレジスト上のパリレンC(POP):ポリマー/金属ナノワイヤ製造のための低温スペーサ技術
2011; IOP Publishing; Volume: 21; Issue: 6 Linguagem: Japonês
ISSN
1361-6439
AutoresLi Yuanhui, Xie Quan, Wei Wang, Zheng Mingxin, Zhang Hao, Lei Yinhua, Zhang Haixia Alice, Wu Wengang, Li Zhihong,
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