Análise comparativa das propriedades elétricas de camadas e multicamadas de VOx depositadas por pulverização catódica para aplicação em bolômetros
2019; UNIVERSIDADE FEDERAL DO RIO DE JANEIRO; Volume: 24; Issue: 1 Linguagem: Português
10.1590/s1517-707620190001.0648
ISSN1517-7076
AutoresR. A. Medeiro, Marcelo Silva Bortolini de Castro, L. R. Cruz, C. L. Ferreira,
Tópico(s)Surface Roughness and Optical Measurements
ResumoRESUMO Filmes finos de VOX (camada e multicamadas) foram fabricados por pulverização catódica com rádiofrequência assistida por campo magnético constante para aplicação em detectores de radiação infravermelha do tipo bolômetro. As amostras foram fabricadas sem quebra de vácuo a partir de três alvos: V2O3; VO2 e V2O5. Um sistema de pulverização catódica com três catodos foi construído para a realização deste trabalho. Os resultados mostraram que ambas as configurações, camadas e multicamadas, apresentaram TCR semelhantes, da ordem de 2 %/K, e resistência de folha inferior a 20 kΩ/quad, sendo ambas recomendadas para emprego em bolômetros.
Referência(s)