Portal de Periódicos da CAPES

ChemInform Abstract: PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF BORON‐ AND PHOSPHORUS‐DOPED HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON NITRIDE FILMS

1985; Wiley; Volume: 16; Issue: 38 Linguagem: Alemão

10.1002/chin.198538017

2199-2924

Y.K. Fang, Cheng-Yi Huang, C. Y. Chang, R. H. LEE,

Copper Interconnects and Reliability

Abstract Durch Plasma‐verstärkte chemische Dampfabscheidung und in situ Dotierung mit Boder Pwerden hydrierte amorphe α‐SiN‐ Filme auf Si‐Proben aufgebracht und die Filmeigenschaften ( ;z.B. elektrischer Widerstand, Dielektrizitätskonstante, Durchschlagsfestigkeit) untersucht.